TrueDyne Sensors AG MEMS技术带来了哪些机遇?

Q: TrueDyne Sensors AG MEMS技术带来了哪些机遇?

A: 由于其微型化（测量通道 = 0.5 μl 体积）和通道材料（硅）的质量，MEMS 技术拥有众多优势和新的应用领域。微型化的趋势越来越明显，尤其是在那些样品量小、结构紧凑的应用领域。硅的热学和机械特性意味着它也是一种功能强大的传感器。

硅是热的良导体。硅是一种良好的热导体，因此通道不会受到较大温差的影响。因此，密度测定所需的温度信息可以轻松准确地确定。
硅的机械特性也是密度测定的有利条件。硅通道的低自重和低刚度意味着可以实现非常高的测量灵敏度。这一特性对于轻质液体和气体尤为重要。因此，在低压（目前规定的压力范围在1 至 20bar 之间）下进行气体测量时，仍然可以达到很高的（测量）灵敏度。

硅通道的振动频率非常高。因此测量时间短，测量信号不受外部机械振动干扰。