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创建时间:2025-06-13
多年来,TrueDyne Sensors AG一直致力于将科里奥利测量原理作为流体微系统或MEMS芯片进行开发和实施。科里奥利测量原理所需的流体通道由硅基板形成并集成到MEMS芯片中。
在 TrueDyne Sensors AG,该系统尚未被证明能有效测量流量。不过,事实证明,振动硅通道可以非常有效地用作谐振密度计。