产品名称：MFS 02

测量介质：气体流量

流向：双向（量热式）

工作温度范围：-20°C 至 + 80°C

芯片尺寸 / 规格：5.0×3.4×0.5 毫米

连接方式：焊接触点

全桥模式流量范围：0 至 1.5 米 / 秒（对应 0 毫升 / 分钟至 100 毫升 / 分钟）

恒流模式（CTA）流量范围：0 至 150 米 / 秒（对应 0 升 / 分钟至 10 升 / 分钟）

响应时间 t63：＜10 毫秒响应

灵敏度：0.0003 米 / 秒（20 微升 / 分钟）基底材质：玻璃

产品代码：103743

产品手册下载：

数据手册 流量传感器 MFS02_CN2312022.pdf

MFS 微流量传感器的优势及特性：

恒流模式（CTA）下兼具高流量适配能力与快速响应特性，是高流量应用场景的优质解决方案

恒流模式（CTA）无需旁路设计，测量动态范围高达 10,000,000:1

全桥模式适用于超低流量测量及泄漏检测，性能优异

对腐蚀性气体和蒸汽具有高耐化学性

提供多种灵敏度规格及电路拓扑结构可选

支持流向检测功能

MFS 微流量传感器产品说明：

IST AG 公司研发的 MicroFlowSens（MFS）技术，专为快速流量测量设计。得益于薄膜系统，其热质量降至最低，从而实现了极快的响应速度与低功耗特性。除流量测量外，该技术还具备卓越的灵敏度，且能够检测流向。MFS 流量传感器特别适合空间受限系统的集成，提供印刷电路板（PCB）集成式传感器版本。

MFS 热式流量传感器的适用范围广泛：恒流模式（CTA）下流量范围为 0 至 150 米 / 秒，工作温度范围为 -40°C 至 +80°C，可用于多种气体的流量测量。其一大特色是，同样适用于存在烟雾或废气产生的工业流量场景。该传感器支持风速计式或量热式两种工作模式，且具备流向测量能力。MFS 传感器基于光敏玻璃基底制成，辅以聚合物薄膜作为支撑膜。

IST AG 的 MFS 气体流量传感器是过程控制、手持设备及医疗应用中流量测量的理想选择。